Магнетроны

Источники распыления для нанесения тонкопленочных покрытий.

Магнетроны серии Magneto

Магнетронные источники Magneto предназначены для напыления высококачественных металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны серии Magneto имеют возможность регулировки ориентации и положения внутри вакуумной камеры благодаря скользящему вакуумному уплотнению и наклону катодного узла (опция). МРС этой серии идеально подходят для R&D отделов и научных лабораторий, благодаря гибкости настроек и простоте эксплуатации.

MagFix

Компактный магнетрон с быстрой сменой мишени для нанесения тонкоплёночных покрытий в исследовательских и промышленных установках. Магнитное крепление позволяет быстро заменять мишень вместе с подложкой. Съёмная сборка извлекается целиком, а на её место устанавливается другая, с заранее закреплённой мишенью. Такая конструкция упрощает переход между материалами при проведении экспериментов и отработке технологических процессов. MagFix рассчитан на работу с источниками питания постоянного (DC), среднечастотного (MF), высокочастотного (RF) и импульсного тока, включая режимы HiPIMS, MPPS и DOMS.