Магнетрон Grinch

Grinch — магнетрон фланцевого исполнения для нанесения тонкоплёночных покрытий. Магнетрон встроен во фланец ISO и устанавливается непосредственно на соответствующий порт вакуумной камеры. Такая конструкция позволяет размещать магнетрон в компактных вакуумных камерах. Эффективная система охлаждения обеспечивает работу при высокой подводимой мощности и позволяет достигать высокой скорости осаждения. Grinch предназначен для задач, в которых важны доступная стоимость и простота установки магнетрона. Grinch рассчитан на работу с источниками питания постоянного (DC), среднечастотного (MF) и импульсного тока, включая режимы HiPIMS, MPPS и DOMS.