Магнетроны серии Magneto
Магнетронные источники magneto предназначены для напыления высококачественных металлических полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны серии magneto имеют возможность регулировки ориентации и положения внутри вакуумной камеры благодаря скользящему вакуумному уплотнению и наклону катодного узла (опция). МРС этой серии идеально подходят для R&D отделов и научных лабораторий, благодаря гибкости настроек и простоте эксплуатации.
Магнетроны серии Grinch
Магнетронные источники серии Grinch предназначены для напыления высококачественных металлических полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны этой серии фиксируются в одном положении на посадочном фланце и не занимают полезный объем вакуумной камеры, благодаря чему идеально подходят для работы в небольших установках.
Нагревательные столики серии Sub
Столики серии Sub предназначены для крепления образцов в вакуумной камере установки нанесения покрытий или ионного травления/модификации поверхности. Базовая модель столика может быть оснащена планетарной системой вращения с регулируемой скоростью вращения, бесконтактным нагревателем, позволяющим проводить нагрев образцов до 1200 С, а также системой косвенного охлаждения образцов. Диапазон варьируемых опций серии Sub позволяет подобрать идеальное решение для научно-исследовательских лабораторий, опытных производств и R&D отделов.
Системы позиционирования Link
Мы разрабатываем и производим вакуумные вводы различных типов: для линейного перемещения, вращения, а также их комбинации. UHV вводы движения Link допускают прогрев до 500 градусов Цельсия. HV вводы с промежуточной откачкой обладают оптимальным соотношением цена/качество и являются недорогим решениями для систем, в которых не требуется поддерживать сверхвысокий вакуум. Полностью устранить границу вакуум/атмосфера позволяют магнитные вводы серии MAG-Link.
Магнетроны серии Magneto
Магнетронные источники magneto предназначены для напыления высококачественных металлических полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны серии magneto имеют возможность регулировки ориентации и положения внутри вакуумной камеры благодаря скользящему вакуумному уплотнению и наклону катодного узла (опция). МРС этой серии идеально подходят для R&D отделов и научных лабораторий, благодаря гибкости настроек и простоте эксплуатации.
Магнетроны серии Grinch
Магнетронные источники серии Grinch предназначены для напыления высококачественных металлических полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны этой серии фиксируются в одном положении на посадочном фланце и не занимают полезный объем вакуумной камеры, благодаря чему идеально подходят для работы в небольших установках.
Нагревательные столики серии Sub
Столики серии Sub предназначены для крепления образцов в вакуумной камере установки нанесения покрытий или ионного травления/модификации поверхности. Базовая модель столика может быть оснащена планетарной системой вращения с регулируемой скоростью вращения, бесконтактным нагревателем, позволяющим проводить нагрев образцов до 1200 С, а также системой косвенного охлаждения образцов. Диапазон варьируемых опций серии Sub позволяет подобрать идеальное решение для научно-исследовательских лабораторий, опытных производств и R&D отделов.
Системы позиционирования Link
Мы разрабатываем и производим вакуумные вводы различных типов: для линейного перемещения, вращения, а также их комбинации. UHV вводы движения Link допускают прогрев до 500 градусов Цельсия. HV вводы с промежуточной откачкой обладают оптимальным соотношением цена/качество и являются недорогим решениями для систем, в которых не требуется поддерживать сверхвысокий вакуум. Полностью устранить границу вакуум/атмосфера позволяют магнитные вводы серии MAG-Link.