MagFix

Компактный магнетрон с быстрой сменой мишени для нанесения тонкоплёночных покрытий в исследовательских и промышленных установках. Магнитное крепление позволяет быстро заменять мишень вместе с подложкой. Съёмная сборка извлекается целиком, а на её место устанавливается другая, с заранее закреплённой мишенью. Такая конструкция упрощает переход между материалами при проведении экспериментов и отработке технологических процессов. MagFix рассчитан на работу с источниками питания постоянного (DC), среднечастотного (MF), высокочастотного (RF) и импульсного тока, включая режимы HiPIMS, MPPS и DOMS.