Grinch 系列磁控管

Grinch 系列磁控溅射源设计用于沉积高质量的金属、半导体和电介质涂层。该系列磁控管固定在安装法兰的单一位置，不占用真空室的有效体积，因此非常适合在小型系统中使用。