Grinch 磁控溅射源

Grinch 是一款法兰安装式磁控溅射源，适用于薄膜沉积。磁控溅射源集成于 ISO 法兰中，可直接安装到真空腔室的对应接口上。 该结构适用于空间紧凑的真空腔室。高效冷却系统使设备能够在较高输入功率下运行，并实现较高的沉积速率。 Grinch 适用于注重成本和安装便捷性的应用。 Grinch 可与直流（DC）、中频（MF）及脉冲电源配合工作，包括 HiPIMS、MPPS 和 DOMS 模式。