Магнетроны
Источники распыления для нанесения тонкопленочных покрытий.
Магнетроны серии Magneto
Магнетронные источники Magneto предназначены для напыления высококачественных металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны серии Magneto имеют возможность регулировки ориентации и положения внутри вакуумной камеры благодаря скользящему вакуумному уплотнению и наклону катодного узла (опция). МРС этой серии идеально подходят для R&D отделов и научных лабораторий, благодаря гибкости настроек и простоте эксплуатации.
- Диаметр катода2"–6"
- Режимы питанияDC / MF / RF / HiPIMS
- ОхлаждениеВодяное
- Регулировка положенияСкользящее уплотнение, наклон катода (опция)
Магнетроны серии Grinch
Магнетронные источники серии Grinch предназначены для напыления высококачественных металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны этой серии фиксируются в одном положении на посадочном фланце и не занимают полезный объем вакуумной камеры, благодаря чему идеально подходят для работы в небольших установках.
- Диаметр катода2"–4"
- Режимы питанияDC / MF / RF
- ОхлаждениеВодяное
- МонтажФиксированный на посадочном фланце