Магнетроны серии Grinch

Магнетронные источники серии Grinch предназначены для напыления высококачественных металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны этой серии фиксируются в одном положении на посадочном фланце и не занимают полезный объем вакуумной камеры, благодаря чему идеально подходят для работы в небольших установках.

Технические характеристики

Диаметр катода2"–4"
Режимы питанияDC / MF / RF
ОхлаждениеВодяное
МонтажФиксированный на посадочном фланце