
Магнетроны серии Grinch
Магнетронные источники серии Grinch предназначены для напыления высококачественных металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны этой серии фиксируются в одном положении на посадочном фланце и не занимают полезный объем вакуумной камеры, благодаря чему идеально подходят для работы в небольших установках.
Технические характеристики
| Диаметр катода | 2"–4" |
| Режимы питания | DC / MF / RF |
| Охлаждение | Водяное |
| Монтаж | Фиксированный на посадочном фланце |