
Магнетроны серии Magneto
Магнетронные источники Magneto предназначены для напыления высококачественных металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны серии Magneto имеют возможность регулировки ориентации и положения внутри вакуумной камеры благодаря скользящему вакуумному уплотнению и наклону катодного узла (опция). МРС этой серии идеально подходят для R&D отделов и научных лабораторий, благодаря гибкости настроек и простоте эксплуатации.
Технические характеристики
| Диаметр катода | 2"–6" |
| Режимы питания | DC / MF / RF / HiPIMS |
| Охлаждение | Водяное |
| Регулировка положения | Скользящее уплотнение, наклон катода (опция) |