Магнетроны серии Magneto

Магнетронные источники Magneto предназначены для напыления высококачественных металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий. Магнетроны серии Magneto имеют возможность регулировки ориентации и положения внутри вакуумной камеры благодаря скользящему вакуумному уплотнению и наклону катодного узла (опция). МРС этой серии идеально подходят для R&D отделов и научных лабораторий, благодаря гибкости настроек и простоте эксплуатации.

Технические характеристики

Диаметр катода2"–6"
Режимы питанияDC / MF / RF / HiPIMS
ОхлаждениеВодяное
Регулировка положенияСкользящее уплотнение, наклон катода (опция)