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Magneto 系列磁控管

Magneto 系列磁控溅射源设计用于沉积高质量的金属、半导体和电介质涂层。借助滑动真空密封件和可倾斜的阴极组件(可选),Magneto 系列磁控管能够调节真空室内的方向和位置。凭借其灵活的设置和易操作性,该系列磁控溅射系统非常适合研发部门和科学实验室。

技术参数

阴极直径2"–6"
供电模式DC / MF / RF / HiPIMS
冷却水冷
位置调节滑动密封,阴极倾斜(选配)