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Magneto 系列磁控管
Magneto 系列磁控溅射源设计用于沉积高质量的金属、半导体和电介质涂层。借助滑动真空密封件和可倾斜的阴极组件(可选),Magneto 系列磁控管能够调节真空室内的方向和位置。凭借其灵活的设置和易操作性,该系列磁控溅射系统非常适合研发部门和科学实验室。
技术参数
| 阴极直径 | 2"–6" |
| 供电模式 | DC / MF / RF / HiPIMS |
| 冷却 | 水冷 |
| 位置调节 | 滑动密封,阴极倾斜(选配) |