专用系统

Sub 系列加热台

Sub 系列加热台设计用于将样品安装在涂层沉积或离子刻蚀/表面改性系统的真空室中。该工作台的基础型号可配备转速可调的行星旋转系统、最高可将样品加热至 1200 °C 的非接触式加热器以及间接的样品冷却系统。Sub 系列提供多种可选配置，让您能够为研究实验室、中试生产和研发部门找到理想的解决方案。